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 連續化學氣相沉積(ContinuousChemicalVaporDeposition,ConCVD)概念接近于目前多數晶體硅太陽能電池生產線使用的在線式工藝,該工藝非常適合大規模生產。ConCVD概念基于連續輸運晶片工藝,通過熱反應區域發生外延沉積。為了提高氣相Si到固相 (共 1363 字) [閱讀本文] >>
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 連續化學氣相沉積(ContinuousChemicalVaporDeposition,ConCVD)概念接近于目前多數晶體硅太陽能電池生產線使用的在線式工藝,該工藝非常適合大規模生產。ConCVD概念基于連續輸運晶片工藝,通過熱反應區域發生外延沉積。為了提高氣相Si到固相 (共 1363 字) [閱讀本文] >>