當前位置:首頁 > 科技文檔 > 無線電電子學 > 正文

投影微立體光刻技術在微流控芯片領域的研究進展

微納電子技術 頁數: 12 2024-04-09
摘要: 對投影微立體光刻(PμSL)技術在微流控芯片領域的優勢進行了簡要概述,介紹了其技術原理以及數字微鏡設備(DMD)的工作機制。分析了影響PμSL技術提高XY平面和Z軸打印分辨率的因素,重點討論了通過優化光學系統、樹脂配方、打印方式及圖像算法等途徑以提高單步制作微流控封閉管道Z軸分辨率的技術方法,并介紹了PμSL技術在多材料打印領域的研究進展。此外,對近年來國內外利用PμSL技術制... (共12頁)

開通會員,享受整站包年服務
說明: 本文檔由創作者上傳發布,版權歸屬創作者。若內容存在侵權,請點擊申訴舉報
国产呦精品一区二区三区网站|久久www免费人咸|精品无码人妻一区二区|久99久热只有精品国产15|中文字幕亚洲无线码