PSD幾何誤差測量系統及不確定度分析

摘要： 針對形位誤差高精度測量的要求，利用位置敏感探測器(PSD)具有高精度、高靈敏度、響應迅速、易于與其他系統集成等優點，搭建了以激光光束為基準線，二維位置敏感探測器為光電轉化器件的形位誤差測量系統，通過移動終端軟件可實時顯示采樣點相對于基準線的位置變化并以最小二乘法快速輸出形位誤差評定結果，相較于傳統測量方法更快速更穩定。系統對直線導軌的直線度進行測量并從單點測量和綜合測量系統兩個... （共7頁）