基于磁控濺射的Pt/PtRh高溫薄膜熱電偶傳感器集成工藝
摘要： Pt/PtRh為高溫薄膜熱電偶敏感材料，Al
2O
3和SiO
2為復合絕緣層材料，采用磁控濺射法成功制備Pt/PtRh薄膜熱電偶及Al
2O
3/SiO
2復合型上下絕緣層，并通過掩膜-沉積法實現薄膜熱電偶圖案化制備。結果表明：制備的復合絕緣層Al
2O
3/SiO
2能夠有效保證高溫薄膜熱電偶傳感器在1200℃高溫下的絕緣性和化學穩定性。Pt/PtRh熱電偶陣列精度達到20... （共7頁）
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