質譜儀用分離打拿極電子倍增器結構優化

摘要： 設計了一種用于質譜儀的19級分離打拿極電子倍增器的結構，構建了器件結構模型，仿真研究了打拿極和收集極的關鍵結構參數及末級分壓電阻阻值對電子倍增器增益的影響，通過分析器件內部電場分布和電子運動軌跡，探究了影響機理，在此基礎上對打拿極和收集極的結構及末級分壓電阻進行了優化。仿真結果表明，當第3打拿極左側壁長度和收集極頂部長度分別為2.35 mm和1.9 mm并且末級分壓電阻阻值為0... （共7頁）