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可實現大質量數檢測的四極桿質譜計的關鍵參數設計及仿真研究

真空科學與技術學報 頁數: 8 2024-09-03
摘要: 隨著中國科技的進步、技術的發展,特殊工程密閉環境內的氣體成分需要精確檢測,被檢測對象除了小質量數(200 amu以內)氣體成分之外,還包含重要的有機大質量數成分;氣體成分最有效的檢測儀器之一就是四極質譜計,中國質譜計研發單位大多數都集中在小質量數產品的設計生產,可測大質量數(可達1000 amu)的四極質譜計設計報道很少;文章設計了四極質譜計桿長、場半徑、入口孔徑、裝配精度等機... (共8頁)

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