坐標統一用三棱臺標準器設計與精度分析

摘要： 為解決具有深孔、微槽、弧面等復雜特征微器件的高精度測量問題，需要采用微納米接觸式測頭和白光干涉測頭進行復合測量。而在這兩種測頭構成的復合測量系統中，現有標準器無法對其進行高精度的坐標統一。因此，根據兩種測頭的測量原理，提出一種三棱臺標準器來實現坐標統一。根據三棱臺標準器的結構特點，基于幾何原理，建立標準器幾何參數及其平面度對基準點坐標精度影響的數學模型。根據數學模型進行數值仿真... （共8頁）