高反射率法布里-珀羅干涉腔平面鏡設計及太赫茲波長測量

摘要： 波長是太赫茲源的關鍵參數，法布里-珀羅（F-P）干涉法是太赫茲源波長測量的主要方法之一。采用高阻硅片作為干涉腔平面反射鏡存在反射率低、適用頻段窄和條紋精細度低等問題，無法滿足波長高精度測量需求。通過在高阻硅片上鍍周期性金屬網柵的方式，設計加工了一組0.08～0.53 THz頻段反射率在87%以上的干涉腔平面反射鏡，搭建的F-P干涉儀對0.096 THz、0.14 THz雪崩源和... （共7頁）