光散射反演光學元件缺陷的級聯機器學習算法

摘要： 表面缺陷類型的判定和尺寸識別對于精密光學元件表面質量評價至關重要。針對利用角分辨散射信號反演表面缺陷結構特征參數時，傳統反演算法在反演維度和尺度上存在的局限，提出一種基于決策樹模型的級聯機器學習反演算法。為了構建訓練模型所需的數據集，基于時域有限差分（FDTD）法建立了角分辨散射系統的電磁仿真模型，通過仿真計算獲得數據集。測試集數據的反演結果表明，所建立的算法分別以0.99的a... （共8頁）