掃描電鏡二次電子探測器閃爍體導電層厚度對成像的影響

摘要： 掃描電鏡原位高溫成像技術是完成更高溫度材料分析測試需求而發展的先進科學研究手段。為了進一步提高掃描電鏡原位高溫成像的圖像質量，本文基于自主研發的掃描電子顯微鏡原位高溫成像設備，研究了閃爍體前端導電層即鋁膜的厚度對成像質量的影響。通過制備不同厚度的鋁膜，以相同的放大倍率和工作距離在樣品的同一區域實時觀察閃爍體的鋁膜對可見光的遮擋作用及成像效果。實驗結果表明，鍍有120 nm鋁膜厚... （共8頁）