掃描電鏡多角度圖像采集系統研究

摘要： 傳統的掃描電子顯微鏡只能采集到樣品的二維圖像，難以獲得樣品表面更真實的形貌特征和量化的高度信息。為了實現掃描電鏡的三維形貌表征，通過改進采集系統增加通道數來控制四象限分布式背散射電子探測器組，獲取單視角多角度“光源”下的圖像數據，并采用三維成像算法中的光度法，來實現三維重建。本文設計了基于STM32系列微控制器的模擬電壓信號采集和發生卡，利用QT平臺開發了掃描電子顯微鏡圖像采集... （共10頁）