電子束品質評價方法綜述

摘要： 電子顯微類儀器廣泛應用于微納觀測與精密加工領域，屬于高端科學儀器。如何有效評價電子束品質是儀器開發者與使用者所關心的問題。然而，電子顯微類儀器種類眾多，根據應用的不同，電子束品質評價方法也有很大差異。因此，建立規范化的電子束評價方法，客觀、準確和方便地評價電子束品質，是電子顯微類儀器研制和應用方面的重要內容。本文基于電子顯微類儀器中電子束性質，針對束流、束斑、束流密度和電子槍亮... （共11頁）