晶面取向對TiN涂層導電性能的影響研究

摘要： 目的 TiN涂層的晶面擇優生長取向對其性能有顯著影響，當前TiN涂層晶面取向對其導電性能的影響機理尚未明確。因此，將模擬計算與實驗研究相結合，開展晶面取向對涂層導電性能影響的研究。方法 采用第一性原理計算研究了晶面取向對TiN表面能、能帶結構、態密度、電荷布居及自由電子相對濃度的影響。同時，利用HiPIMS技術實現了不同晶面取向TiN涂層的制備。結果 經過理論計算，TiN(20... （共9頁）