復合腔高溫法珀加速度傳感器的設計與實驗

摘要： 針對鉛鉍堆高溫高壓液態流動金屬環境下（500℃，2 MPa），堆內組件流致振動磨損監測中高靈敏度、小量程振動監測的需求，提出了一種基于MEMS工藝的復合腔高溫法珀加速度傳感器。依據十字梁-質量塊敏感結構的力學模型，分析了不同結構參數對傳感器靈敏度、量程和一階固有頻率的影響，從而確定敏感結構的尺寸參數。然后，采用雙面鍵合工藝實現復合腔傳感器芯片的加工，并完成傳感器的封裝及制作。最... （共10頁）