HF氣體回收裝置重復利用工藝設計

摘要： HF氣體回收裝置重復利用系統經過試驗，從工藝流程、工藝參數、工藝設備、工藝方法、工藝控制等方面進行論證，設計出一套能夠滿足脫附工藝需求的工藝系統。工藝系統在生產規模、安全性和自動化方面均已達到成熟工藝標準。本文對HF氣體回收裝置重復利用系統運行情況進行了研究總結，對系統設備、工藝管線、集中傳輸及DCS控制、計算機工作站等進行工藝設計，對系統故障連鎖保護部分進行設計，對系統創新及... （共6頁）