開放環境中大氣壓氬氣微等離子體射流特性

摘要： 微等離子體射流具有較高的等離子體密度和處理精度，廣泛應用在納米材料制備、精密加工和表面刻蝕等領域，然而開放環境中大氣壓微等離子體射流特性的調控方法和機制尚不明晰。為此搭建了大氣壓微等離子體射流源及原位診斷系統，實現了直徑為50～200μm的大氣壓氬氣微等離子體射流，并通過電壓/電流波形、射流圖像和發射光譜分析了毛細管內徑、氣體流量、施加電壓對微等離子體放電特性、射流長度、氣體溫... （共10頁）