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 雖然連續化學氣相沉積ConCVD和對流輔助化學氣相沉積CoCVD已經在大規模生產的可行性上取得了很大的進展,但是這兩種概念的可靠性和安全性仍然有待論證。微電子領域發展了分批式外延反應腔(batchtypeepitaxialreactor),用SiH4作為Si前驅物 (共 1142 字) [閱讀本文] >>
海量資源,盡在掌握
 雖然連續化學氣相沉積ConCVD和對流輔助化學氣相沉積CoCVD已經在大規模生產的可行性上取得了很大的進展,但是這兩種概念的可靠性和安全性仍然有待論證。微電子領域發展了分批式外延反應腔(batchtypeepitaxialreactor),用SiH4作為Si前驅物 (共 1142 字) [閱讀本文] >>