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 本節的目的是為不同的氣相沉積方法提供一個視角,其中包括這些方法的局限性、相對優點和缺點。大多數薄膜沉積方法可以分為兩類:化學氣相沉積和物理氣相沉積。除了前面各節所提到的化學氣相沉積外,目前還有很多與CVD相關的 (共 7290 字) [閱讀本文] >>
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 本節的目的是為不同的氣相沉積方法提供一個視角,其中包括這些方法的局限性、相對優點和缺點。大多數薄膜沉積方法可以分為兩類:化學氣相沉積和物理氣相沉積。除了前面各節所提到的化學氣相沉積外,目前還有很多與CVD相關的 (共 7290 字) [閱讀本文] >>