
 MEMS(MicroelectroMechanicalSystems)即微機電系統(圖3-1),是以微電子技術和微機械加工技術為基礎的多學科交叉前沿技術。目前,國內外廠家已經研發出了數百種MEMS傳感器,除了常用的加速度傳感器外,還包括諸如壓力傳感器、光電學傳感器、 (共 212 字) [閱讀本文] >>
海量資源,盡在掌握
 MEMS(MicroelectroMechanicalSystems)即微機電系統(圖3-1),是以微電子技術和微機械加工技術為基礎的多學科交叉前沿技術。目前,國內外廠家已經研發出了數百種MEMS傳感器,除了常用的加速度傳感器外,還包括諸如壓力傳感器、光電學傳感器、 (共 212 字) [閱讀本文] >>