3.5.1　發光二極管盡管尚未用于器件制造,但研究者們對于有機半導體電致發光特性的了解已有很長時間[51]。自從Tang等人[52]報道了反式8-羥基喹啉鋁(Alq)這種異質有機物的高效電致發光性能(0.025光子/電子)后,有機發光二極管在顯示器...[繼續閱讀]

    電池是電化學反應產生電能的裝置。蓄電池是化學-電化學可逆的電池,因此,這種電池可進行充電。充電電池通常包括兩個電極和一個電解質/分隔物。Nigrey等人[78]首次報道了PA的電化學摻雜是一個可逆過程,因此,原則上來說,PA可以作...[繼續閱讀]

    聚電解質凝膠浸入電解質溶液之后在電場作用下變形(就是說,它們有將外界刺激化為機械能的能力)。自從1982年合成聚合物凝膠的電化學現象被Tanaka等人第一次觀察到之后[90],許多人研究了聚合物凝膠在電場中的體積變化和變形行為...[繼續閱讀]

    [1]　(a)S.D.D.V.Rughooputh,　S.Hotta,　A.J.Heeger,　F.Wudl,　Polym.Sci.Polm.Phys.,　25,　1071(1987).(b)O.Inganas,　W.R.Salancck,　J-E.Osterholm,　J.Laasko,　Synth.Met.,　22,　395(1988).(c)K.Yoshino,　D.H.Park,　P.K.Park,　M.Onoda,　R.Sugimoto,　Jpn.J.Appl.Phys.,　27,　L1612(...[繼續閱讀]

    聚合物材料在電子工業中被廣泛應用在集成電路的制造或作為電子制成品的組成部分。比如聚合物材料已經被用作光刻成像材料(光刻膠)和電介質,鈍化絕緣材料。它之所以在電子工業中得到如此廣泛的應用,主要得益于人們可以根據...[繼續閱讀]

    在微電子器件制造領域,特別是用來制造高分辨率集成電路元件的光刻技術,不斷取得重大進步[1]。不久之前,最先進的電路器件也僅有幾千個晶體管元件,其最小尺寸為5～6μm?，F在,具有幾百萬個晶體管單元的電路器件已經可以商業化...[繼續閱讀]

    對于給定的刻蝕工藝要仔細選擇化學性能滿足要求的光刻膠。盡管根據光源、過程設備需求和曝光工具不同這些要求有所不同,但是有一些基本原則是相同的:敏感度、對比度、分辨率、抗蝕性、純度和加工性能[8]。這些性能可以通過...[繼續閱讀]

    4.4.1　負性光刻膠化學負性膠是光照區域的光刻膠溶解度下降,傳統光誘發化學過程包括聚合物鏈間的交聯,圖像反轉,在光刻膠基質中使用催化劑來促進交聯反應。雙組分交聯光刻膠　在半導體工業的早期(1957～1970年)電路的最小特征...[繼續閱讀]

    集成電路的微小型化和復雜化使得傳統單層光刻膠發展到極限。對更高分辨率的需要要求圖像具有不斷增加的縱橫比和在劇烈變化的基底形態中依舊保持較小的線寬變動范圍。很多方法被用來解決這個問題:使用聚合物平鋪層,防反射...[繼續閱讀]

    聚合物在顯微光刻法中起著重要的作用,將圖像刻畫到硅等基材的過程和持續增加的復雜性以及微電子器件的密度一直是新材料研究的推動力?；钚杂袡C光刻膠材料在器件制造過程中起著重要的作用,還有其他惰性聚合物在微電子工業...[繼續閱讀]